根据被加工件的材料和形面的不同，常用的超精密加工工艺方法主要分三大类：切削加工法、磨削加工（含研、抛）法和电物理加工法。

切削加工法

切削加工法主要是采用优质的天然金刚石作刀具的切削刃，对有色金属、玻璃或陶瓷工件进行车削和铣削加工，可以加工端面、球面和抛物面等曲面。
超精密车削加工中，东莞电脑锣加工|东莞机械零件加工厂|东莞模具加工厂|深圳电脑锣加工金刚石刀具的刃磨是关键。刀尖的圆弧半径应为被加工表面要求值的五分之一左右，一般γc小于10nm，用铸铁研具进行研抛时，可获得γc=3~5nm。再小的γc值则要用离子束加工来获得。实践证明，采用这样的刀具，便于切削速度在很大（V=120~3600m/min）的范围内变化，而不影响被加工表面的粗糙度值。
常选的切削用量是：加工有色金属时V=120~4000m/min，加工玻璃或陶瓷时V=15~120m/min；根据刀尖圆弧末径γc值的不同，进给量可在0.1~10µm/r的范围内选取，切削深度则为t=0.05~0.1µm。
在用雾化酒精或温度可控的矿物润滑油冷却的情况下，高质量的单晶金刚石刀具的耐用度（用一次刃磨後切刃可以有效地进行切削的度来衡量）可达1500km。
切削加工法所能达到的最高水平：面形精度为0.025µm、表面粗糙度为Ra=2~4nm。

磨削加工法

广东精密机械加工的磨削加工法是采用精细磨粒的砂轮或砂带进行磨削和研、抛的加工。此法多用于硬度较高的黑色金属材料加工，也可用于玻璃及陶瓷等非金属材料的加工。它可以加工比用切削法加工更大的工件表面――平面、圆柱面、球面和非球面。
圆柱形镜面通常用磨削方法加工，东莞电脑锣加工|东莞机械零件加工厂|东莞模具加工厂|深圳电脑锣加工磨削速度选V=25~35m/s，粗磨时t=0.02~0.07mm，精磨时t=3~10µm；当用油石研、抛时，V=10~50m/min，材料的去除速度为0.1µm~1µm/min。超精磨削可达到0.01µm的圆度和Ra 0.002µm的表面粗糙度。
球形镜面研、抛时要求研具保持在被加工表面的法向上，有两种保证方法：一是通过研具（1）本身的自定位机构来达到；二是通过采用数控系统使研磨头（2）倾斜一φ角来实现。