微型机械在国外已受到政府部门、企业界、高等学校与研究机构的高度重视。美国MIT、Berkeley、Stanford\AT&T的15名科学家在上世纪八十年代末提出"小机器、大机遇：关于新兴领域--微动力学的报告"的国家建议书，声称"由于微动力学(微系统)在美国的紧迫性，应在这样一个新的重要技术领域与其他国家的竞争中走在前面"，建议中央财政预支费用为五年5000万美元，得到美国领导机构重视，连续大力投资，并把航空航天、信息和MEMS作为科技发展的三大重点。美国宇航局投资1亿美元着手研制"发现号微型卫星"，美国国家科学基金会把MEMS作为一个新崛起的研究领域制定了资助微型电子机械系统的研究的计划，从1998年开始，资助MIT，加州大学等8所大学和贝尔实验室从事这一领域的研究与开发，年资助额从100万、200万加到1993年的500万美元。电脑锣加工|机械零件加工|数控机床加工|东莞高速电脑锣加工1994年发布的《美国国防部技术计划》报告，把MEMS列为关键技术项目。美国国防部高级研究计划局积极领导和支持MEMS的研究和军事应用，现已建成一条MEMS标准工艺线以促进新型元件/装置的研究与开发。美国工业主要致力于传感器、位移传感器、应变仪和加速度表等传感器有关领域的研究。很多机构参加了微型机械系统的研究，如康奈尔大学、斯坦福大学、加州大学伯克利分校、密执安大学、威斯康星大学、老伦兹得莫尔国家研究等。加州大学伯克利传感器和执行器中心(BSAC)得到国防部和十几家公司资助1500万元后，建立了1115m2研究开发MEMS的超净实验室。

      东莞磨床加工,日本通产省1991年开始启动一项为期10年、耗资250亿日元的微型大型研究计划，研制两台样机，一台用于医疗、进入人体进行诊断和微型手术，另一台用于工业，对飞机发动机和原子能设备的微小裂纹实施维修。该计划有筑波大学、东京工业大学、东北大学、早稻田大学和富士通研究所等几十家单位参加。

       东莞磨床加工,欧洲工业发达国家也相继对微型系统的研究开发进行了重点投资，德国自1988年开始微加工十年计划项目，其科技部于1990～1993年拨款4万马克支持"微系统计划"研究，并把微系统列为本世纪初科技发展的重点，德国首创的LIGA工艺，为MEMS的发展提供了新的技术手段，并已成为三维结构制作的优选工艺。法国1993年启动的7000万法郎的"微系统与技术"项目。电脑锣加工|机械零件加工|数控机床加工|东莞高速电脑锣加工欧共体组成"多功能微系统研究网络NEXUS"，联合协调46个研究所的研究。瑞士在其传统的钟表制造行业和小型精密机械工业的基础上也投入了MEMS的开发工作，1992年投资为1000万美元。英国政府也制订了纳米科学计划。在机械、光学、电子学等领域列出8个项目进行研究与开发。为了加强欧洲开发MEMS的力量，一些欧洲公司已组成MEMS开发集团。

       东莞磨床加工,目前已有大量的微型机械或微型系统被研究出来，例如：尖端直径为5μm的微型镊子可以夹起一个红血球，尺寸为7mm×7mm×2mm的微型泵流量可达250μl/min能开动汽车，在磁场中飞行的机器蝴蝶，以及集微型速度计、微型陀螺和信号处理系统为一体的微型惯性组合(MIMU)。德国创造了LIGA工艺，制成了悬臂梁、执行机构以及微型泵、微型喷嘴、湿度、流量传感器以及多种光学器件。美国加州理工学院在飞机翼面粘上相当数量的1mm的微梁，控制其弯曲角度以影响飞机的空气动力学特性。美国大批量生产的硅加速度计把微型传感器(机械部分)和集成电路(电信号源、放大器、信号处理和正检正电路等)一起集成在硅片上3mm×3mm的范围内。日本研制的数厘米见方的微型车床可加工精度达1.5μm的微细轴。

 随着工业生产的发展和科学技术的进步，根多部门尤其是国防部门要求尖端科技产品向高温、高压、高速、高精度方向发展。目前，具有高熔点、高硬度、高脆性、高黏性、高韧和高纯度的新型材料不断涌现。同时，零件的结构形状也越来越复杂。这使得采用传统的机械加工方法难以加工甚至无法加工。为了解决上述问题，人们努力寻求新的加工方法。电火花加工的发明正适应了人们的这种需求，因此得到了广泛应用。传统切削加工与电火花加工的主要区别见表8—1。  由于电火花加工较金属切削加工有上述优势，所以它可以加工任何硬度、强度的金属，而且在加工复杂、微细零件方面的表现更为突出，大型钻床。

主要优点：
  (1)可以加工难以用金属切削方法加工的零件，不受材料硬度影响，不受材料热处理状况影响。
  (2)由于工具电极与工件电极不直接接触，没有机械切削力，所以在制作工具电极时不必考虑其受力特性，工具电极可以做得十分微细，能进行徽细加工和复杂形面加工，大型钻床。
  (3)加工是通过脉冲放电来蚀除金属材料的，电脑锣加工|机械零件加工|数控机床加工|东莞高速电脑锣加工而脉冲电源的参数随时可调整，因此在同一情况下，只须调整电参数即可切换粗加工、半精加工、精加工、超精加工。
      由于摇臂钻床具有上述特性，该项技术已广泛应用于宇航、航空、机械(特别是模具制造业)、仪器仪表、轻工业及科学研究等部门。
      使用摇臂钻床进行加工虽然具有上述优点，但也存在不足之处。
局限性

    (1) 用摇臂钻床来加工生产效率低。用电火花加工作为成形粗加工时，虽然仿形性较好但其切削效率只能相当于一台仪表车床。所以用金属切削方法可以加工的零件，一般不考虑使用电火花加工，大型钻床。

    (2)被加工的工件只能是导电体。    、

    (3)存在电极损耗。由于电极损耗通常发生在尖角边线处，影响了成形精度。为了达到精度要求，往往需要多个电极的费用和更换电极的辅助时间。

    (4)加工表面有变质层。初步研究证明被加工工件的表面一般都有变质层，如不锈钢和硬质合金表面的变质层对使用是有害的，需要处理掉。

    (5)加工过程必须在工作液中进行。电火花加工时放电部位必须在工作液中，否则将引起异常放电。